- 六氟化硫 SF6
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- 羰基硫 COS
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- 高纯氢气 H2
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- 四氟化碳|CF4
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- 氯化氢 HCl
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- 高纯氧气
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- 二氧化氮 NO2
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- 氧化亚氮 N2O
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- 高纯二氧化碳 CO2
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- 三氯化硼 BCl3
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- 高纯氨气|NH3
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