线性滑轨的精度可以分为行走平行度、高度（H）以及宽度（N）的尺寸容许误差。滑轨单轴使用或在同一平面使用复数轴线性滑轨时，规范各个滑块组合高度的成对相互差。各型号的精度分为普通级（C）、**）（H）、精密级）（P）、超精密级（SP）与超高精密级（UP）五个等级。

在同一平面上有2轴线性滑轨以上配对使用时，宽度）（N）的尺寸对容许误差与成对相互差）（△N）只使用与基准轴。另精度测定值是以滑块中心点或中心部的平均值为基准。